Асноўны працэс нанясення PVD пакрыцця JKL

(1) Папярэдняя апрацоўка PVD, уключаючы ачыстку прадметаў і папярэднюю апрацоўку.Канкрэтныя метады ачысткі ўключаюць ачыстку мыйнымі сродкамі, ачыстку хімічным растваральнікам, ультрагукавую ачыстку і ачыстку іённай бамбардзіроўкай.
(2) Пастаўце іх у печ, уключаючы вакуумную ачыстку камеры і прыстасаванні, а таксама ўстаноўку, увод у эксплуатацыю і падлучэнне элементаў і прыстасаванняў.
(3) Вакуумаванне, звычайна напампоўка да 6,6 Па або больш, адкрыйце пярэднюю частку дыфузійнага помпы раней, каб падтрымліваць вакуумны помпа і нагрэць дыфузійны помпа.Пасля дастатковага нагрэву высокі клапан адкрываецца і перапампоўваецца дыфузійным помпай да паўдоннага вакууму 6 х 10-3 Па.
(4) Выпечка, выпечка прадметаў да патрэбнай тэмпературы.
(5) Іённая бамбардзіроўка, вакуум звычайна складае ад 10 Па да 10-1 Па, напружанне іённай бамбардзіроўкі - адмоўнае высокае напружанне ад 200 В да 1 кВ, а час атакі складае ад 15 хвілін да 30 хвілін.
(6) Папярэдняе плаўленне, рэгуляванне току для папярэдняга расплаўлення матэрыялу, рэгуляванне току для папярэдняга расплаўлення пакрыцця і дэгазацыя на працягу 1 мін ~ 2 мін.Асадак з выпарэння.Ток выпарэння рэгулюецца ў адпаведнасці з патрабаваннямі, пакуль не скончыцца жаданы час асаджэння.Астуджаючыся, вырабы астуджаюцца да пэўнай тэмпературы ў вакуумнай камеры.
(7) Пасля таго, як прадметы выняты, вакуумная камера зачыняецца, вакуум вакуумуецца да l × l0-1Pa, і дыфузійны помпа астуджаецца да дапушчальнай тэмпературы, перш чым тэхнічны помпа і астуджальная вада могуць быць адключаны.
 


Час публікацыі: 07.09.2021